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真空泵的机械挑选

时间:2022-07-11 来源:未知 点击:

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的办法对被抽容器进行抽气而获得真空的器材或设备。通俗来讲,是用各种办法在某一封闭空间中改善、发生和保持真空的设备。跟着真空使用的发展,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

下面小编要为我们介绍的是真空泵的机械挑选:

1、工作时发生的振荡对工艺进程及环境有无影响。若工艺进程不允许,应挑选无振荡的泵或者采纳防振荡办法。

2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。挑选时,需要知道气体成分,针对被抽气体挑选相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

3、在其工作压强下,应能排走真空设备工艺进程中发生的悉数气体量。

4、正确地组合。由于该产品有挑选性抽气,因而,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需要几种泵组合起来,互相弥补才能满意抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。另外,有的产品不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以挑选有油泵,加上一些防油污染办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。


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